半導体・工作機向けワイヤレス給電・信号伝送ソリューション
1 ワイヤレス給電・信号伝送の特徴
半導体製造装置や工作機械では、真空・クリーン環境、高速回転、可動部への配線、 接点摩耗、発塵、メンテナンスなど、装置ごとにさまざまな課題があります。 B&PLUSの非接触技術により、可動部や回転部への給電・信号伝送、 配線レス化の可能性を広げます。
非接触・メンテナンス性向上
金属接点を使わずに給電。 接点摩耗や接触不良を減らし、 メンテナンス負担の低減につなげます。
薄型・小型設計
限られた装置スペースや可動部にも 組み込みやすい薄型・小型構造を 用途に合わせて検討できます。
低発熱・高効率
真空環境や装置内部での使用を考慮し、 必要電力に合わせて 発熱を抑えた給電を検討します。
給電＋信号伝送
電力だけでなく、 センサ信号や各種通信の 非接触伝送にも対応可能です。
真空・クリーン環境対応
真空度、アウトガス、発塵、 使用材料などを考慮し、 半導体製造装置向けの構成を検討します。
高信頼・長寿命
回転部や可動部の接触箇所を減らし、 装置の安定稼働や 長寿命化につなげます。
2 半導体向けソリューション
半導体製造装置では、真空・クリーン環境への対応や、 回転・可動部への配線、限られたスペースへの組み込みなど、 さまざまな課題があります。 ワイヤレス給電・信号伝送を活用することで、 配線や接点にとらわれない装置設計の可能性を広げます。
真空チャンバー内搬送
真空環境で動作する搬送機構への給電を非接触化。 可動部の配線削減やメンテナンス性向上への活用を検討できます。
ウェーハ搬送・回転機構
ウェーハを搬送・回転させる機構への給電・信号伝送を非接触化。 可動範囲や配線による制約の低減につなげます。
ウェーハステージ・位置決め機構
ウェーハを保持し、回転・位置決めする可動機構への ワイヤレス給電・信号伝送の活用を検討できます。
ロードロック・真空ゲート周辺
大気側と真空側の境界にある開閉・可動機構やセンサへの 非接触給電・信号伝送の活用を検討できます。
検査・計測装置の可動部
検査・計測工程で使用されるステージやセンサなど、 可動部へのワイヤレス給電・信号伝送を検討できます。
3 工作機向けソリューション
工作機械では、主軸や回転テーブルなどの回転部、 工具・治具の着脱部、スライドする可動部などにおいて、 ケーブルの取り回しや接点摩耗が課題となる場合があります。 ワイヤレス給電・信号伝送により、 回転部・可動部・着脱部の非接触化を検討できます。
主軸・回転テーブル
回転する機構へ非接触で電力や信号を伝送。 回転側に搭載したセンサなどへの給電・状態監視に活用できます。
ワークチャック
回転するチャック側のセンサなどへ非接触で給電。 ワークのクランプ状態や把持状態の確認への活用が考えられます。
ツールチェンジャー・ATC
自動交換される工具や交換機構への給電・信号伝送を非接触化。 工具交換時の配線や接点を減らす構成を検討できます。
パレット・治具
交換されるパレットや治具側のセンサへ非接触で給電。 治具ID、位置、クランプ状態などの情報伝送への活用を検討できます。
昇降・スライド機構
繰り返し移動する可動部への給電を非接触化。 ケーブルの屈曲や取り回しによる制約の低減につなげます。
4 共通ソリューション
半導体製造装置・工作機械に加え、 工場内の搬送・自動化設備にもワイヤレス給電を活用できます。 AGV・AMRへの自動充電により、 充電作業の省力化や無人での連続運用につなげます。
AGV・AMRへの自動充電
所定の充電ポイントで非接触給電を行い、 人によるコネクタの抜き差しを減らすことで、 充電作業の自動化をサポートします。
無人化・連続運用
自動搬送とワイヤレス給電を組み合わせることで、 人による充電作業を減らし、 設備の無人化・連続運用につなげます。
5 実証事例・プロトタイプ紹介
半導体製造装置・工作機械への応用を想定し、 さまざまな形状や回転条件、特殊環境における ワイヤレス給電・信号伝送の試作・評価に取り組んでいます。
低速回転テーブルへの
センサ給電・信号伝送
低速で回転するテーブル上のセンサなどを想定し、回転部への給電と信号伝送について試作・評価を行っています。
低速回転テーブルの
温度データ通信
回転テーブル上に配置された温度センサなどを想定し、回転側からのデータ通信について検討・評価を行っています。
高速回転部向け
ワイヤレス給電
高速回転する機構への組み込みを想定し、 小型・薄型化や回転時の給電について 試作・評価を進めています。
特殊環境向け
ワイヤレス給電評価
真空・低温・ガラス越しなど、 特殊な使用環境を想定したワイヤレス給電について、 今後検証・評価を進めていく予定です。
6 技術相談・共同開発
半導体製造装置・工作機械向け
ワイヤレス給電の技術相談
装置の構造や使用環境に合わせて、 ワイヤレス給電・信号伝送の適用可能性を検討します。
- 回転部・可動部のケーブルレス化
- 真空・クリーン環境でのワイヤレス給電
- 薄型・小型での装置組込み
半導体製造装置・工作機械への
ワイヤレス給電をご検討ですか？
使用環境、必要電力、給電距離、設置スペース、 回転・可動条件などを確認し、 装置に合わせたワイヤレス給電・信号伝送をご提案します。
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